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2026年全球晶圆代工市场展望

2026年全球晶圆代工市场预计增长12%,先进制程竞争白热化。

半导体刻蚀设备聚焦环材料技术演进

先进陶瓷聚焦环(尤其是SiC和B₄C)凭借更长的使用寿命、更低的污染风险和更高的机械强度,正从"可选项"转变为半导体制造中的"必选项"。

碳化硅(SiC)切割技术分析报告

梳理了碳化硅切割的技术背景与多种工艺路线,强调在传统机械切割面临效率和成本瓶颈的背景下,以超快激光为核心的新型激光切割技术凭借高精度、低损耗、高良率的特性,正引领碳化硅晶圆制造进入新的发展阶段。

CVD制备石墨基体碳化硅涂层工艺中反应气体流量的影响

反应气体流量在CVD反应系统中通过影响气体流场分布、气体分子浓度变化、反应分子扩散效率等方面而影响CVD-SiC涂层质量,因此在实际的CVD制备SiC涂层工艺中需要格外注意该参数带来的变化影响。

等静压石墨表面烧结SiC涂层研究

喷涂法可成功在等静压石墨表面制备SiC涂层,工艺具有简单、易控、原料利用率高的优点。